Miniaturized systems that analyze air ambience need sensors capable of identifying different gaseous species. This book explores the development of an integrated micro gas sensor that is based on advanced metal oxide nanostructures and is compatible with modern semiconductor fabrication technology. The author details various nanomaterials useful for gas sensing applications and explains the advantages of these nanostructured materials. Along with covering current and future nanostructure-based devices, he also examines the ways to synthesize nanometal oxides and obtain different nano features.

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