Microstereolithography - & Other Fabrication Techniques for 3D Mems

微立体光刻:以及其他用于3维微电子机械系统的制造技术

机械史

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作      者
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出版时间
2001年01月29日
装      帧
精装
ISBN
9780471521853
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274
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图书简介
This timely and accessible book focusses on microstereolithography and other microfabrication for 3D MEMS. The application of MEMS (micro-electro-mechanical systems) in such diverse fields as intelligent microsensors, data storage, biomedical engineering and wireless communications is booming, but although many MEMS books are available, this book is unique in that most others deal with 2D MEMS. This volume discusses the fundamental principles of microstereolithography for fabrication of 3D MEMS devices, providing an account of
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