Nanopositioning Technologies:Fundamentals and Applications

Nanopositioning Technologies:Fundamentals and Applications
仪器仪表技术

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作者

Changhai Ru, Harbin Engineering University, Harbin, China; Xinyu Liu, McGill University Mechanical Engineering, Montreal, QC, Canada; Yu Sun, Univ Toronto Dept Electrical & Comput, Toronto, ON, Canada

出版社

Springer Berlin Heidelberg

出版时间

2018年03月30日

装帧

平装

ＩＳＢＮ

9783319795393

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This book covers the state-of-the-art technologies for positioning with nanometer resolutions and accuracies, particularly those based on piezoelectric actuators and MEMS actuators. The latest advances are described, including the design of nanopositioning devices, sensing and actuation technologies and control methods for nanopositioning. This is an ideal book for mechanical and electrical engineering students and researchers; micro and nanotechnology researchers and graduate students; as well as those working in the precision instrumentation or semiconductor industries.

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