Designed to provide beginners with an introduction to optical metrology without sacrificing rigor, this handbook discusses key principles and techniques before exploring practical applications. It explores everything from interferometry, holography, and Moiré metrology to diffraction, scattering, and polarization. This second edition is fully revised to reflect the latest developments. It also includes four new chapters—nearly 100 pages—on optical coherence tomography for industrial applications, interference microscopy for surface structure analysis, noncontact dimensional and profile metrology by video measurement, and optical metrology in manufacturing technology.

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