The Handbook of Vacuum Technology is a comprehensive standard work and important resource for readers who need to know in detail about theory and applications of vacuum technology. The main idea of the book is to enable engineers, technicians and scientists to develop and work successfully with the equipment and "environment" of vacuum. Many numerical examples and illustrations visualize the theoretical issues. For the growing interest of industry in vacuum technology (e.g. for EUV lithography, flat panel displays) and to cover the latest developments in the field there is a need to keep a book on vacuum technolgy up-to-date. The latest developments in pump technology are covered as well as new sealing techniques and progress in measurement techniques. The new standards must be incorporated as well.

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