Sputtering Materials for VLSI and Thin Film Devices

Sputtering Materials for VLSI and Thin Film Devices

VLSI和薄膜器件的溅射材料
工程热物理

售价：

发货周期：预计4-6周发货

作者

Sarkar, Jaydeep

出版社

William Andrew

出版时间

2013年10月01日

装帧

精装

ＩＳＢＮ

9780815515937

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608

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英文

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Integrated Circuits; Materials Processing; Structure and Properties of Surfaces, Interfaces and Thin Films

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