The goal of this book is to bring together into one accessible text the fundamentals of the many disciplines needed by today's engineer working in the field of microelectromechanical systems (MEMS). The subject matter is wide-ranging: microfabrication, mechanics, heat flow, electronics, noise, and dynamics of systems, with and without feedback. Because it is very difficult to enunciate principles of good design' in the abstract, the book is organized around a set of Case Studies that are based on real products, or, where appropria

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