Ferroelectric Dielectrics Integrated On Silicon

工程热物理

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1972.00
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作      者
出  版 社
出版时间
2011年10月24日
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ISBN
9781848213135
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448
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图书简介
This book describes up-to-date technology applied to high-K materials for More Than Moore applications, i.e. microsystems applied to microelectronics core technologies. After detailing the basic thermodynamic theory applied to high-K dielectrics thin films including extrinsic effects, this book emphasizes the specificity of thin films.
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